BEOL1 [Ep. 6] 금속 배선 공정(Metallization) [Ep. 5] 증착 및 이온 주입 공정(Deposition & Ion Implantation)에 관해 다시 리뷰해보자면, 증착 공정에서는 PVD와 CVD에 관해 살펴보았고, 단차 피복성(Step Coverage)라는 중요한 개념에 대해서도 알아보았습니다. 다음 이온 주입 공정에서는 이온 주입 공정 시 필요한 요소들(도펀트, 도즈, 에너지)에 관해 간략하게 살펴보았습니다. 산화 공정부터 증착 및 이온 주입 공정까지를 FEOL(Front-End Of Line)이라고 부르는 것까지 말씀드렸습니다. BEOL(Back-End Of Line)에 해당하는 여섯 번째 공정인 금속 배선 공정(Metallization)에 대해 살펴보도록 하겠습니다. [Ep. 5] 증착 및 이온 주입 공정(Deposition & Ion I.. 2024. 8. 27. 이전 1 다음
